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| 随州日报讯（通讯员徐方方）泰晶科技最新研制的用于光刻工程的高精度配套设备——全自动晶圆调频及测选机，近日又取得新突破，该设备适用于光刻晶圆频率调整及分测，配合基于半导体技术的光刻制程量产及质量提升。这一设备的研制成功，不仅填补了行业空白，而且保证了关键性技术的保密性，为公司正在进行的大规模扩产提供了更优的方案。 该设备采用特定的光谱取代原有光源，使用全新的测试线路及测量方式，大幅提高了设备的精度及效率。目前使用设备频率调整精度可达±5PPM，合格率98.5％以上，各项指标达到国际先进水平。拥有自主知识产权的设备研发，使公司具有持续创新能力，经过设备升级，可加工更小型的1毫米系列产品。 该设备的研发成功不仅极大提高了产品品质及生产效率，而且设备性能优势得到日本同行的高度认可。目前已交付多套给某全球著名同行，得到该全球巨头同行的高度评价。 |
